Los compuestos de matriz cerámica de carburo de silicio y nitruro de silicio son materiales duros, frágiles y difíciles de procesar, lo que hace que el mecanizado de microagujeros sea un desafío y poco eficiente. Se requiere el uso de equipos, herramientas y métodos de proceso adecuados. En el proceso de perforación, primero se utiliza láser de milisegundos para lograr un mecanizado eficiente de microagujeros pasantes en cerámica de carburo de silicio y nitruro de silicio. La simulación y la verificación experimental se emplean para determinar tamaños de pre-agujeros y parámetros de procesamiento láser adecuados, controlando eficazmente los defectos térmicos como las zonas afectadas por el calor y las capas recosidas dentro de las dimensiones de los agujeros finales formados. A continuación, se utiliza el mecanizado asistido por vibración ultrasónica para preparar los agujeros finales formados, reduciendo el tiempo de contacto y los efectos de fricción entre la herramienta y la pieza de trabajo. Finalmente, se utilizan brocas PCD (diamante policristalino) personalizadas, de alta dureza y resistencia al desgaste, para la perforación asistida por vibración ultrasónica de los agujeros prefabricados en cerámica de carburo de silicio y nitruro de silicio. Este enfoque elimina eficazmente defectos como las zonas afectadas por el calor y las capas recosidas generadas durante el proceso de pre-fabricación con láser, logrando un mecanizado de microagujeros de alta precisión y alta calidad.
